食具消毒是利用物理或化学方法杀灭清洗过的食具中病原微生物的过程。市场上五花八门的消毒柜从功能上说，通常只有高温消毒、臭氧消毒和紫外线消毒3种消毒方式，以及它们之间的组合消毒方式，比如目前市场上流行的“上层为臭氧保洁，下层为红外线加热”的消毒方式。远红外线高温型消毒柜主要是根据物理原理，利用远红外线发热，在密闭的柜内产生120度高温进行杀菌消毒。这种消毒方式具有速度快、穿透力强的特点，日常生活中常用的餐具、茶具都可放在柜内进行高温消毒。
电热型品牌消毒柜电器是利用高温发挥杀菌作用。高温对细菌有明显的致死作用。细菌中的蛋白质因受热而发生变性凝固，活性消失，代谢发生障碍，导致死亡。电热型消毒柜的消毒温度应≥100℃，消毒时间应≥15分钟。
臭氧消毒柜是利用臭氧的强氧化性进行消毒。臭氧低温型消毒柜利用臭氧功能进行杀菌消毒，可用于塑料、胶木等受高温易变形的物品消毒，也可用来对蔬菜、瓜果等进行杀菌和保鲜臭氧在常温下为带蓝色的爆炸性气体，有特臭，为已知最强的氧化剂之一，是一种光谱杀菌剂。但是臭氧泄漏会危害人体健康，作业现场空气中允许的阀限值为0.2mg/m3。所以臭氧型消毒柜需在保证臭氧不泄漏的情况下，保持柜内臭氧的浓度，以确保消毒效果。
臭氧加紫外线食具消毒柜是利用紫外线和臭氧作为消毒手段的消毒柜。消毒灭菌使用的紫外灯应是高臭氧紫外灯，紫外线的波长范围是200～275nm ，其中杀菌作用最强的波段是250～270nm。用于消毒的紫外灯在电压为220V时，辐射的253.7nm紫外线强度应不低于70μW/cm2。紫外线辐射能量低，穿透力弱，仅能杀灭直接照射到的微生物，因此消毒时必须使消毒部位充分暴露于紫外线下。紫外灯同时产生臭氧，也起到杀菌作用。
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